|
深圳市昊光机电科技应用有限公司 
| 联系人：王明 先生 (业务部经理) |
 |
| 电 话：0755-26985163-813 |
|
| 手 机：13928453655 |
|
|
|
 |
|
 |
|
| 供应AE CESAR 1330射频电源 |
强大而多功能的 Cesar® 射频电源平台可提供非常稳定的射频功率输送性能，以及一个多样化的模式选择，每种模式都具有一套独特的功能（2、4、13.56、27.12和40.68 MHz；0.3至5 kW；拥有多种用户界面和输入选择），从而使您能够选择一套特别适合您应用的组件——而无需定制发生器所需的漫长交付期。
高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现*优化，从而使您的投资和制程生产力得到*大化的利用。一个全面而高度灵敏的操作菜单（可在该组件的多功能前面板上找到，并显示在一个大的液晶显示屏上）带来了无与伦比的便利性——提高了操作人员的效率，并使培训成本*小化。
典型应用：
高密度等离子体化学气相淀积（HDP CVD）
等离子体增强化学气相沉积（PECVD）
刻蚀-RIE/ICP
物理气相沉积
等离子清洗
优点
• 更长的制程正常运行时间
• 更高的操作简易性和灵活性
• 无需定制组件提前期的定制化性能
• 长期的使用简易性，节省成本
功能
• 精簡的流线型设计
• 标准的平台包装
• 高效率——低发热量
• 200和400 VAC 的输入选择
• 两个模拟用户端口选择
• RS-232、以太网及 Profibus 通讯
• 多功能前面板
• 便利、全面的操作菜单
• CEX（相位同步）操作模式 |
 |
| |
| 深圳市昊光机电科技应用有限公司 |
|
| 电 话： |
0755-26985163-813 |
| 传 真： |
0755-26991745 |
| 移动电话： |
13928453655 |
| 在线联系： |
|
| 公司地址： |
中国广东深圳市龙岗区坪地镇高桥产业区麻沙旭达工业区1栋 |
| 邮 编： |
518000 |
| 公司主页： |
http://infobright.qy6.com( 加入收藏) |
|
|
|
 |
|
|
免责声明： 以上所展示的信息由会员自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责，企业录对此不承担任何责任。如有侵犯您的权益，请来信通知删除。